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          多晶硅用氮化硅制品

          多晶硅用氮化硅制品

          發布日期:2017-08-17 瀏覽次數:17282






            多晶硅還原爐是提煉多晶硅棒的專用設備,高壓啟動方式要求首先施高壓擊穿,使純硅成為電阻率較低的導體,進而提升導通電流速度,使硅芯內部溫度快速上升,大大縮短啟動時間,提高生產效率。故而需要耐高溫的高絕緣性陶瓷材料,防止高溫高壓下絕緣失效,造成電擊穿。傳統氧化鋁材質由于自身性能限制,使用壽命很短,故而氮化硅陶瓷材料成為其首選。


            最新一代優質多晶硅還原爐/氫化爐用高壓電極絕緣環、保護套、隔熱罩、絕緣套筒,采用氣壓燒結氮化硅,絕緣性好、韌性高、耐高溫、強度高、抗熱震,可防止倒棒時破壞電極,比氧化鋁材質的同類產品壽命長10倍以上,減少停爐損失和更換成本,節約操作時間,降低勞動強度,綜合效益提高3倍。已在國內得到廣泛應用,與進口產品性能相當,獲得客戶一致好評。是國內廣大多晶硅廠家提升產品質量,降低生產成本,提高生產效率的首選。


          常規尺寸:

          根據圖紙生產


          優點:

          1. 冷等靜壓成型

          2.氣壓燒結

          3.高抗壓強度與抗折強度

          4. 低熱膨脹系數

          5.優良的抗熱震性能

          6.電絕緣性優良

          7.強耐電沖擊性


          產品指標:

          參數:氣壓燒結氮化硅

          密度:>3.2g/cm3

          Si3N4 含量:>92%

          抗折強度:>600Mpa

          抗壓強度:>1500Mpa

          導熱系數(W/mk):16-22

          氣孔率:0

          熱膨脹系數(RT-1000℃):3.2

          最高工作溫度(空氣 中):1400℃

          硬度(HRA):>92



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